光学检测仪Impress Q9
特点1: 全自动离线学习系统；
特点2: 软体自动内部无作用特征掩盖；
特点3: 软体非检测区域复制掩盖能力；
特点4: 扫描参数可以实现模组化控制；
特点5: 可以实现自动蚀刻因子的计算；
特点6: 软体对未来特征的逻辑判定能力；
特点7: 自动对位和实时扫描校正式对位方式；
特点8: 独特的微细缺陷分析过滤逻辑。
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